Akurasi pemesinan peralatan mesin pemotong logam CNC telah ditingkatkan dari tingkat kawat asli (0,01 mm) ke tingkat mikron (0,001 mm), dan beberapa varietas telah mencapai sekitar 0,05μm. Untuk pemotongan mikro-dan penggilingan peralatan mesin CNC ultra-presisi, akurasinya bisa stabil sekitar 0,05μm, dan akurasi bentuk bisa mencapai sekitar 0,01μm. Ketepatan pemrosesan khusus yang menggunakan cahaya, listrik, bahan kimia, dan sumber energi lainnya dapat mencapai tingkat nanometer (0,001μm). Melalui optimalisasi desain struktur perkakas mesin, penyelesaian akhir yang ultra dan perakitan suku cadang perkakas mesin yang presisi, penggunaan kontrol loop penuh-tertutup-presisi tinggi dan teknologi kompensasi kesalahan dinamis seperti suhu dan getaran, keakuratan geometri pemrosesan perkakas mesin ditingkatkan, dan kesalahan bentuk dan posisi, kekasaran permukaan, dll. berkurang. , untuk memasuki era penyelesaian akhir ultra-skala sub-mikron dan-nano.
